鈦靶鎳靶等靶材在使用過程中，其表面逐漸會產生一種黑色顆粒狀物質，我們稱之為黑化物，或是說靶材中毒。靶材黑化中毒容易產生諸多問題，影響產品的質量。因此分析靶材黑化中毒的原因就顯得十分重要，凱澤金屬結合多年的靶材深加工和相關資料，將導致靶材黑化中毒的原因，剖析如下，以此共勉學習。

1、靶材密度低

靶材的密度低是靶材黑化中毒的一個主要原因。密度低，增加放電，加速黑化，反之，靶材密度高，材質致密，可減少放電及延緩黑化。減小ito粉微粒直徑，使微粒之間空隙小，則密度也可提高。靶材的密度對靶材的各項技術指標都有影響，隨著密度增高，各項指標都有較大的改善。

2、氣體含量高

雜質氣體含量高也是造成靶材黑化中毒的原因。雜質氣體主要來自真空室的脫氣、基片運載車的脫氣、真空室漏氣、背景真空度低等原因。要想改善這一問題，可以使基片運載車暴露在空氣中的時間縮短，吸附少脫氣快。

3、表面雜質多

靶材黑化中毒的原因還因為靶材表面雜質多，與靶材表面光潔度和清潔度有關。表面光潔度高，使得電子在靶材表面運動規則性強，因而產生微粒的幾率減少。靶材表面雜質會使靶材導電性能變差，從而導致電荷積累而引發放電，加速靶材表面黑化。在有條件的情況下,可用軟拋光方法和超聲波設備處理靶材表面。

4、成分比例不當

成分比例不正確也容易導致靶材黑化中毒，由于氧化銦和氧化錫的濺射速率有較大差異，靶材表面黑化物的成分多為氧化銦，因此適當比例的氧化銦和氧化寫放電及黑化無的生成將有所減輕和延緩。或適當調節氧和氬的比例也可以在 一定程度上改善放電和黑化。

5、功率密度低

靶材濺射功率密度低也是靶材中毒黑化的原。靶材濺射功率密度高，黑化減輕，但放電增多。靶材濺射功率密度低則黑化較嚴重，放電減少?？紤]到產能的因素，功率密度一般設為2-2.5W/cm。

6、表面溫度低

靶材黑化中毒也與表面溫度有關，若表面溫度低于200℃，黑化較嚴重。若表面溫度高于350℃，黑化顯著減輕同時放電減少。

7、間隙數量多

靶材黑化中毒與靶材之間間隙大小和多少有關，間隙數量以越少越好。黑化物質較先產生在靶材間隙之間，且較嚴重，這是靶材間的縫隙破壞了靶材表面電子的定向運動所致。因而靶材尺寸選擇時要盡量用長尺寸的，以減少縫隙數量，并在綁定時盡可能準確地將間隙控制在0.2-0.4mm之間，這將略延緩黑化過程。

綜上來看，靶材黑化中毒的原因有靶材密度低，雜質氣體含量高，表面雜質多，成分比例不當，功率密度低等七個原因。了解靶材中毒黑化的原因，有利于采取相應措施解決黑化問題，對改善產品質量起到一定作用。寶雞市凱澤金屬材料有限公司是一家研發生產鈦靶、鉻靶、鋯靶、鎳靶、鈦鋁靶、鈦絲、鈦加工件、鈦鍛件等金屬材料為主的高新技術企業，十余年專注于濺射靶材、鍍膜靶材、平面多弧靶材研發、生產，靶材組織結構均勻、濺射成膜性能優異，如果您對靶材有疑問或需要，歡迎聯系凱澤金屬。

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