對于需要制備不同尺寸的靶材所采用的制備方法也不一樣，比如制備小尺寸的靶材，常用的是粉末熱等靜壓法以及粉末壓制燒結(jié)法。那么對于大尺寸的靶材制備各種表面強(qiáng)化和表面防護(hù)涂層，比較好的一種制備技術(shù)就是熱噴涂技術(shù)，此技術(shù)可提高靶材的利用率。但這種技術(shù)如今也存有一些缺點(diǎn)，凱澤金屬結(jié)合相關(guān)資料，將其整理如下：

一、熱噴涂技術(shù)制備靶材的原理

熱噴涂技術(shù)制備靶材的原理是用氣體、液體燃料或用電弧、等離子弧作熱源，將金屬、合金、陶瓷、金屬陶瓷、氧化物、碳化物、硼化物、氮化物、硅化物、塑料等粉末或絲材、棒材加熱到熔化或半熔化狀態(tài)，借助于火焰推力或另用壓縮空氣噴灑于預(yù)處理過的工件表面上，形成噴涂層的一種表面處理方法。

二、熱噴涂技術(shù)制備靶材優(yōu)缺點(diǎn)

1、熱噴涂技術(shù)制備靶材優(yōu)點(diǎn)

（1）噴涂材料范圍非常廣泛，幾乎包括所有的固體材料，除了火焰中能揮發(fā)的物質(zhì)外；

（2）等離子噴涂的焰流溫度高，熱量集中，幾乎能融化所有高熔點(diǎn)的粉末材料，可以根據(jù)工件表面性能要求制備出各種性能的涂層；

（3）所選擇的合適工藝，幾乎能在任何固體材料表面上進(jìn)行噴涂。

（4）噴涂層平整光滑，厚度準(zhǔn)確可控，直接進(jìn)行精加工即可獲得產(chǎn)品，是一種近凈成形制備方法，節(jié)省材料，特別適合貴重金屬涂層及靶材的制備；

（5）一般不受施工現(xiàn)場限制，也不受工件尺寸的限制；

（6）涂層的厚度可以控制，從幾十微米到幾個毫米；工件受熱程度可以控制；

（7）等離子噴涂通過采用真空密閉，通入還原性氣體、惰性氣體保護(hù)等方法，可獲得氧含量低、雜質(zhì)少的涂層；

（8）采用高能等離子噴涂設(shè)備，粉末沉積率高，沉積速度快，可獲得較厚的涂層，這是制備濺射靶材的重要保證。

（9）等離子焰流噴射速度高，能使粉末獲得較大的動能和較高的溫度，涂層與基體結(jié)合強(qiáng)度高；

（10）可使材料具有耐磨、耐蝕、耐氧化、耐高溫、隔熱、導(dǎo)電、絕緣、密封、減磨、防輻射等不同功能,使低級材料可代替材料使用;

（11）不僅能進(jìn)行材料表面防護(hù)和強(qiáng)化工作,而且還能修補(bǔ)廢舊件,且修復(fù)速度快,修復(fù)件性能高；

（12）涂層沉積效率較高，特別適合沉積薄膜涂層。涂層厚度可以控制，從幾十微米到幾毫米甚至可厚達(dá)20mm；

（13）除噴焊外，熱噴涂施工對基體的熱影響很小，基體受熱溫度不超過200℃，基體不會發(fā)生變形和性能變化；

2、熱噴涂技術(shù)制備靶材缺點(diǎn)

（1）熱噴涂層結(jié)合強(qiáng)度不太高，會存在孔隙問題及工件變形問題。

（2）熱噴涂在制備靶材方面也是有一點(diǎn)需要改善的，那就是涂層組織的多孔性。容易吸附雜質(zhì)、濕氣，使得濺射過程中高真空的迅速獲得及真空度的穩(wěn)定受到影響，并且導(dǎo)致在濺射過程中，靶材濺射表面瞬間高溫使松散顆粒團(tuán)狀掉落，污染基片表面，影響鍍膜質(zhì)量和鍍膜產(chǎn)品的合格率。

（3）除噴焊外，熱噴涂涂層與基體的結(jié)合主要是物理機(jī)械結(jié)合，結(jié)合強(qiáng)度不大高，涂層耐沖擊和重載性能較差；

（4）噴涂涂層含有不同程度的孔隙，對于耐腐蝕、抗氧化、絕緣等應(yīng)用，一般不如整體材料。但可通過復(fù)合涂層系統(tǒng)設(shè)計(jì)等方法予以改進(jìn)提高；

（5）噴涂小件時，涂層材料的收得率低；

（6）熱噴涂手工操作時的勞動條件較差，有噪音、粉塵、熱和弧光輻射問題，必須注意勞動保護(hù)措施。

以上就是關(guān)于熱噴涂技術(shù)制備靶材優(yōu)缺點(diǎn)的介紹，可以看出采用熱噴涂技術(shù)制備靶材，優(yōu)點(diǎn)還是有很多，比如噴涂材料范圍非常廣泛，噴涂層平整光滑，厚度準(zhǔn)確可控等，但其中也不乏存在一切缺點(diǎn)，如熱噴涂層結(jié)合強(qiáng)度不太高等。凱澤金屬專注生產(chǎn)各種濺射靶材，鉻靶、鎳靶、鋯靶、鋁靶材等的深加工，產(chǎn)品純度高，還可進(jìn)行有關(guān)使用方面的技術(shù)指導(dǎo)，如果您有需要，歡迎聯(lián)系凱澤金屬詳詢。

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