隨著產業技術的發展，工業生產需要高質量的靶材產品，因為靶材的質量直接影響著磁控濺射薄膜的性能，目前，企業一般在購買靶材上更偏向用成分結構均勻的高密度靶材進行濺射鍍膜，以減少靶材多次拼接，提高濺射鍍膜的質量。所以這就要求靶材的生產廠家嚴格控制靶材質量。除了在生產工藝方面嚴格把控，同時也要了解影響靶材質量的因素有哪些，下面凱澤金屬就來給大家分析一下。

影響靶材質量的因素有哪些？

1、工藝參數對靶材質量的影響

工藝參數主要包括冷壓壓力、加壓速度、保壓時間和脫模速度等參數。對于靶材冷壓，壓力直接影響靶材毛坯的質量，加壓速度對靶材毛坯分層有很大影響。粉末均勻填充進陰模，初始狀態為松散，其內有大量孔隙及氣體。氣體的排出需要時間，若此時加壓速度過快，粉末顆粒之間接觸面增大，間隙迅速減少，氣體會封閉在靶材毛坯內，造成毛坯孔洞增多，達到一定壓力后，毛坯孔洞尺寸縮小，但孔洞內氣壓增大，脫模后，因外部約束力的釋放，孔洞內氣壓大于靶材毛坯強度時，毛坯產生分層、斷裂等質量問題。

2、模具對靶材質量的影響

模具對靶材毛坯成形有一定影響，所以也就對靶材質量有一定影響。表現在模具內側面的光潔度要高、沖頭與模腔的配合間隙要小，一般在0.15~0.25 mm。配合間隙太大，會發生跑粉、漏粉現象，造成毛坯邊緣密度偏低，脫模時產生掉邊質量問題。粉末在冷壓成形后，模具內側面與靶材毛坯產生一定壓力，冷壓壓力越大，側壓力越大，脫模時摩擦力越大。若光潔度不高，摩擦力更大，造成掉邊現象。

3、材料含水量對靶材質量的影響

制造靶材的粉末材料中水分相當于潤滑劑的作用，它的存在可降低顆粒之間的摩擦力，有利于冷壓壓力的有效傳遞，有利于粉末顆粒之間順利滑移、重排。但當含水量過少或過多時會影響到靶材質量。

當ITO粉末中含水量在小于2%時，在冷壓壓力、粘結劑含量等其它條件相同下，靶材出現掉邊、分層等質量問題的幾率增加很多。

當ITO粉末中含水量在大于10%時，在冷壓壓力、粘結劑含量等其它條件相同下，雖然粉末顆?；?、重排容易，但模具內側有水分排出，造成靶材毛坯四周掉邊現象，搬運時偶有斷裂。毛坯分層、斷裂。實驗表明，粉末含水量在3%~6%之間時，靶材毛坯質量問題得到有效控制。

4、成型壓力對靶材質量的影響

在成型壓力較低30 MPa下，靶材產生質量問題嚴重。這是由于靶材毛坯密度低，強度較低的原因，靶材的內應力大于靶材強度。隨著冷壓壓力的增大，靶材密度增大，強度增大，足以抑制內應力的破壞。在壓力大于60 MPa后，靶材質量問題逐漸減少，直至消失。所以成型壓力也是影響靶材質量的因素之一。

5、粘結劑摻入量對靶材質量的影響

粘結劑的摻入量對靶材質量有重大影響。在摻入量較低1%下，靶材毛坯產生嚴重質量問題，粘結劑的作用未表現出來，對靶材毛坯強度提高不大。隨著粘結劑摻入量提高到2%、3%，靶材強度得到增強，靶材質量問題極大減少。但當粘結劑摻入量達到4%后，雖然靶材冷壓毛坯質量問題消失，但在后續脫脂過程中，靶材偶有分層現象。

粘結劑的作用是促進粉末顆粒之間緊密結合，依靠其特性使冷壓毛坯具有更大的強度，便于毛坯成型，提高冷壓毛坯成品率。粘結劑要具有一定的粘結效果、在低溫下易于分解，分解殘留物極低至完全消失，同時要求其不能與粉末發生有害的化學反應。

以上分析了影響靶材質量的因素有哪些這個問題，主要有五點影響因素，工藝參數、模具、材料含水量、粘結劑摻入量等，在靶材制作過程中，各種因素的影響相互聯系，并達到一定程度的互補，對各種影響因素優化，可達到消除靶材質量問題，如粘結劑摻入量高一點，含水量多意些，冷壓壓力就可以小一些。如果您需要高質量靶材產品，歡迎聯系凱澤金屬詳詢。

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