硬質涂層是通過氣相沉積法，在硬質合金刀片表面上涂覆耐磨的碳化鈦、氧化鋁等薄層，從而形成表面涂層硬質合金，這種涂層材料耐磨性好，耐腐蝕，且耐高溫氧化，在切削刀具和耐磨零部件等機械加工行業中得到廣泛使用。在硬質涂層沉積的時候，需要利用到鍍膜靶材來進行沉積，所以靶材能夠影響到硬質涂層各方面的性能和使用效果。因此這就對硬質涂層用鍍膜靶材的要求較高，凱澤金屬結合相關資料，分享如下：

一、硬質涂層用鍍膜靶材的技術要求

1、靶材純度

靶材的純度對濺射薄膜的性能影響很大。靶材的純度越高，濺射薄膜的均勻性越好，性能越高。影響靶材純度的主要因素是雜質含量，雜質的來源廣泛，包括熔煉鑄造過程中的夾雜物和粉末原料中的氧氣和水等。靶材作為濺射中的陰極，固體中的雜質和氣孔中的O2和H2O在沉積過程中，容易在薄膜表面形成熔滴和孔洞。

2、致密度

靶材的致密度不僅影響濺射時的沉積速率、濺射膜粒子的密度和放電現象等，還影響著濺射薄膜的物理和力學性能。靶材致密度越高，濺射膜粒子的密度越低，放電現象越弱，薄膜的性能也越好；致密度低的靶材在濺射過程中，存在于靶材孔隙中的氣體突然釋放，造成大尺寸的材料顆粒或微粒飛濺，或在成膜之后薄膜受到二次電子的轟擊產生微粒，這些微粒的出現將嚴重影響硬質涂層質量。

3、成分與結構均勻性

成分與結構均勻性是考察靶材質量的重要指標之一。對于復相結構的合金靶材和混合靶材，不僅要求成分的均勻性，還要求組織結構的均勻性。只有靶材的成分和結構均勻，在后期鍍膜過程中才能均勻地濺射在基體上；如果均勻性不好，沉積出來的薄膜均勻性也會受到影響，容易出現孔洞、間隙、凸起等缺陷。

4、晶粒尺寸和取向

靶材的晶粒尺寸越細小，沉積的薄膜厚度分布越均勻，濺射速率越快。在靶材的濺射沉積鍍膜過程中發現，合金靶材具有擇優濺射現象，這嚴重影響到薄膜的化學組成，因此控制合金靶材中的晶粒取向顯得尤為重要。

5、幾何形狀與尺寸

主要體現在加工精度和質量方面，如表面粗糙度和平整度等。檢查靶材表面有無開裂、縮孔和難熔不熔物等。靶材對表面質量的控制極為嚴格，表面質量缺陷對后續的濺射鍍膜均勻性影響很大。

二、硬質涂層用鍍膜靶材的性能要求

硬質涂層用鍍膜靶材的性能要求主要是對濺射靶材的熱導率、電導率和熱膨脹系數的要求。因濺射導致靶材的溫度升高，熱導率越高熱量傳遞的越快，靶材離子的蒸發效果越好，沉積效率越高；靶材與基材的熱膨脹系數的差值越小越好，借以減小熱應力的影響。

綜上，硬質涂層用鍍膜靶材的要求有兩方面，一是技術要求，包括靶材的純度、致密度、成分與結構均勻性等；二是性能要求，主要是是對濺射靶材的熱導率、電導率和熱膨脹系數的要求。凱澤金屬專注生產各種濺射靶材，鉻靶、鎳靶、鋯靶、鋁靶材等的深加工，產品純度高，還可進行有關使用方面的技術指導，如果您有需要，歡迎聯系凱澤金屬詳詢。

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