鈦靶、鉻靶、鋯靶、鎳靶等合金濺射靶材的要求比其他材料要高，除了如純度、尺寸、各項雜質含量、缺陷控制等一般要求外，還有表面粗糙度、成份與組織均勻性、異物（氧化物）含量與尺寸等特殊的要求。所以在濺射合金靶材的制備過程中，其方法是非常重要的，那么常見的濺射合金靶材的制備方法有哪些呢？凱澤金屬就總結了幾種方法分享給大家，一起來看看吧。

一、特種熔煉法

特種熔煉法是將一定成分配比的合金原料熔煉，再將合金溶液澆注于模具中，形成鑄錠，再經過機械加工制成靶材，鑄造法在真空中熔煉、鑄造。常用的熔煉方法有真空感應熔煉、真空電弧熔煉和真空電子轟擊熔煉等，其優點是靶材雜質含量，特別是氣體雜質含量低，密度高，可大型化；但缺點是對熔點和密度相差較大的兩種或兩種以上金屬，普通熔煉法難以獲得成分均勻的合金靶材，如鈦鋁合金（鈦鋁靶）。

二、粉末冶金法

粉末冶金法是將一定成分配比的合金原料熔煉，澆注成鑄錠后再粉碎，將粉碎形成的粉末經等靜壓成形，再高溫燒結，形成靶材。此方法的優點是靶材成分均勻；但缺點是密度低，雜質含量高等，常用的粉末冶金工藝包括冷壓、真空熱壓和熱等靜壓等。

三、強電流加熱法

強電流加熱法采用可獲得大電流的裝置，利用大電流使兩種原料的粉末發熱，再施加壓力，使得兩種金屬自身反應形成合金靶材，此方法可用與制作鈦鋁合金靶材。鈦粉和鋁粉發熱，施以壓力，使鋁和鈦自身反應形成鈦鋁合金靶材。

四、熱等靜壓燒結法

熱等靜壓燒結法熱等靜壓燒結是指通過高溫和各向均衡的高壓氣體的共同作用，使坯體或預燒體達到燒結致密化的工藝方法。將兩種金屬粉末進行混料，然后經過裝粉和冷等靜壓預壓制、脫氣工藝后再進行熱等靜壓壓制成型，然后進行燒結和加工得到合金靶材。此方法適用于制造形狀復雜的制品，可提高制品的致密度和性能。

五、熱壓燒結法

熱壓燒結法制備技術用于制備鈦鋁合金濺射靶材較為有潛力。該技術工藝效率高，適合產業化生產。而用該技術制備鈦鋁合金靶材需反復試驗，選擇合適的脫模劑，提高成品率及模具的利用率，同時，需優化燒結熱工藝條件，如燒結溫度、升溫速率、熱壓壓力等，提高生產效率，從而降低成本。該工藝是使鈦鋁粉體在熱和力的共同作用下燒結成型，利用Ti- AI混合物中鋁的熔點低，將鈦粉粘結在一起，形成濺射合金靶材。

以上五種就是常見的濺射合金靶材的制備方法，一般合金靶材都可以用熔煉法和粉末冶金法制備，而有些合金靶材，如鈦鋁合金，不太適用前兩種方法，可用強電流加熱法、熱等靜壓燒結法、熱壓燒結法制備，其中熱壓燒結法用于制備鈦鋁合金濺射靶材較為理想。凱澤金屬專注生產各種濺射靶材，鉻靶、鎳靶、鋯靶、鋁靶材等的深加工，產品純度高，還可進行有關使用方面的技術指導，如果您有需要，歡迎聯系凱澤金屬詳詢。

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