濺射鈦靶材與金屬鈦都是由鈦元素組成的，所以材料基本相同，但它倆的區(qū)別主要在于金屬鈦可以作為原材料生產(chǎn)鈦靶材，而鈦靶材只能是一種被制造出來的產(chǎn)品。金屬鈦可通過幾種方法制成鈦濺射靶材。鈦靶材在很多行業(yè)領(lǐng)域都能廣泛的應(yīng)用，以下由凱澤金屬整理，結(jié)合多年鈦靶材的深加工、銷售經(jīng)驗(yàn)以及相關(guān)資料，分享如下：

一、非集成電路和集成電路行業(yè)

非集成電路和集成電路對濺射鈦靶材的要求是不同的。一般而言，集成電路對涂層材料有很高的要求，例如更高的純度，更小的晶粒尺寸以及更精確的尺寸精度。但它揭示了不同行業(yè)對鈦靶材的要求不同。集成電路鈦靶的純度要求主要是大于99.995％，高于非集成電路中所用的純度。

二、平板顯示器行業(yè)

平板顯示器中使用的鈦靶材包括液晶顯示器，等離子顯示器，電致發(fā)光顯示器和場發(fā)射顯示器。濺射鍍膜技術(shù)通常用于沉積平板顯示器的薄膜。Al，Cu，Ti和Mo是平板顯示器的主要金屬濺射靶材。用于平板顯示器的鈦靶材的純度通常需要大于99.9％。

三、晶圓制作及芯片封裝領(lǐng)域

鈦靶材可用于晶圓導(dǎo)電阻擋層及封裝金屬布線層制作。其中在晶圓制造環(huán)節(jié)，靶材主要用于執(zhí)著晶圓導(dǎo)電層、阻擋層以及金屬柵極，而且在芯片封裝環(huán)節(jié)，靶材用來生成凸點(diǎn)下金屬層、布線層等金屬材料。靶材在晶圓制造及封裝過程成本占比均約在3%左右，雖然靶材在晶圓制造和芯片封裝領(lǐng)域用量不大，但是由于濺射靶材的品質(zhì)直接影響導(dǎo)電層、阻擋層的均勻程度及性能，進(jìn)而影響芯片傳輸速度及穩(wěn)定性，因此靶材是半導(dǎo)體生產(chǎn)的核心原材料之一。

在晶圓制作環(huán)節(jié)，半導(dǎo)體用濺射靶材主要用于晶圓導(dǎo)電層及阻擋層和金屬柵極的制作，主要用到鋁、鈦、銅、鉭等金屬，芯片封裝用金屬靶材于晶圓制作類似，主要有銅、鋁、鈦等。其中，晶圓制作導(dǎo)電層使用金屬靶材主要有鋁靶和銅靶，阻擋層使用金屬靶材主要有鉭靶和鈦靶，阻擋層主要有兩個(gè)作用，一方面是阻隔與絕緣，防止導(dǎo)電層金屬擴(kuò)散到晶圓主體材料硅中，另一方面作為黏附，用于粘結(jié)金屬和硅材料。一般來說，110nm技術(shù)節(jié)點(diǎn)以上晶圓分別用鋁、鈦?zhàn)鳛閷?dǎo)線及阻擋層的薄膜材料，110nm以下晶圓分別使用銅，鉭材料作為導(dǎo)線及阻擋層的薄膜材料，隨著晶圓制程的縮小，未來對銅靶、鉭靶以及制作金屬柵極用鈦靶的用量占比將不斷提升。

四、生物行業(yè)

鈦是無磁性金屬，在很強(qiáng)的磁場中也不會被磁化，且與人體有良好的相容性，可以用來制造人體植入器件。一般醫(yī)用鈦材并沒有達(dá)到高純鈦的級別，但是考慮到鈦中不純物的溶出問題，植入件用鈦的純度應(yīng)盡可能的高。文獻(xiàn)還提到，高純鈦絲可用做生物捆扎材料。此外，內(nèi)埋導(dǎo)管的鈦制注入式針頭也達(dá)到了高純鈦級別。

五、裝飾材料行業(yè)

高純鈦靶材具有優(yōu)異的耐大氣腐蝕性能，在大氣中長期使用也不變色，保證鈦原有的本色。因此高純度鈦還可以用做建筑裝飾材料。此外近年來部分裝飾品以及部分佩戴物，如手鏈、手表及眼鏡架等用鈦制作利用了鈦耐腐蝕、不變色、能長久保持良好的光澤以及與人體皮膚接觸不致敏等特性。某些裝飾品用鈦的純度已經(jīng)達(dá)到5N級別。

六、吸氣材料行業(yè)

鈦?zhàn)鳛橐环N化學(xué)性質(zhì)非常活潑的金屬，在高溫下可與許多元素和化合物發(fā)生反應(yīng)。高純鈦靶材對活性氣體（如O2、N2、CO、CO2、650°C以上的水蒸氣）的吸附性很強(qiáng)，蒸發(fā)在泵壁上的Ti膜可形成一一個(gè)高吸附能力的表面，這一性質(zhì)使得Ti在超高真空抽氣系統(tǒng)中作為吸氣劑而得到廣泛的應(yīng)用。如用在升華泵、濺射離子泵等，可使濺射離子泵的極限工作壓強(qiáng)低至10-9Pa。

鈦靶材的應(yīng)用行業(yè)領(lǐng)域有非集成電路和集成電路，平板顯示器行業(yè)，晶圓制作及芯片封裝領(lǐng)域，生物行業(yè)、裝飾行業(yè)及吸氣材料行業(yè)，每個(gè)行業(yè)對鈦靶材的要求都不同，所以我們應(yīng)用在不同行業(yè)的話，選購鈦靶材時(shí)需要知道產(chǎn)品的規(guī)格，這樣靶材的生產(chǎn)廠家也會根據(jù)規(guī)格來提供制作鈦靶材。凱澤金屬專注生產(chǎn)各種濺射靶材，鉻靶、鎳靶、鋯靶、鋁靶材等的深加工，產(chǎn)品純度高，還可進(jìn)行有關(guān)使用方面的技術(shù)指導(dǎo)，如果您有需要，歡迎聯(lián)系凱澤金屬詳詢。

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