真空鍍膜機連續使用半年以上，那么設備的抽速將會明顯變慢，那么該怎么去維護呢?首先，必須要沖入大氣，拆去聯結水管，將一級噴嘴擰出來，再用汽油將泵腔及泵膽清洗一下，再用清潔劑洗一遍，待水份揮發干后，裝好泵膽，重新加入新擴散的泵油，并裝回機體，便可重新開機。真空電鍍在重新開機時，要特別注意撿漏工作，先觀察擴散泵部分真空度是否達到6X10Pa，否則我們要進行檢漏。檢查聯接處是否裝密封膠圈，或壓壞密封圈。排除漏氣隱患后才可以加熱，否則擴散泵油會燒環，無法進入到工作狀態。當真空鍍膜設備抽泵連續不斷的工作一個月的時候，我們須重新在更變新油，將泵油內的舊油完全的排放出來。然后加入新的泵油至一定量。連續使用半年以上。再換泵油時應該將油蓋打開，用布擦干凈箱內的污垢。在軸間等距離的環形表面上形成刻蝕區，其缺點是薄膜沉積厚度均勻性不易控制，靶材的利用率較低，僅為20%~30%。

凱澤金屬是一家致力于新材料研發和應用的國家高新技術企業。坐落在中國鈦谷-寶雞，。主營業務: 真空鍍膜、鈦鎳鋯鎳靶材等新材料研發、生產、銷售、服務。主要產品：磁控濺射靶材，分為陶瓷靶材、金屬靶材、合金靶材。應用領域：應用于平面顯示工業、薄膜太陽能工業、半導體鍍膜工業、建筑/汽車玻璃工業和裝飾/功能鍍膜工業。

濺射靶材市場依然被美國、日本的濺射靶材生產廠商所控制或壟斷。隨著濺射靶材朝著更高純度、更大尺寸的方向發展。不斷進行研發創新。靶材產品包括鋁及其合金靶材、鈦靶、銅靶、鉭靶等。尤特新材料（UVTM）是國家高新技術企業，公司成立于二00三年，專業從事信息、鍍膜、太陽能材料的科研與生產。公司從德國、日本、引進先進的生產、檢測設備和專業人才。目前，靶材的國產化進程面臨著高等技術封鎖難題。且技術難以實現系統打破，過程還需要多個學科的知識和經驗的同時積累，產業需要協同發展。中國集成電路材料現狀如何？靶材是薄膜制備的關鍵原料之一，半導體在靶材應用中約占10%。2016年靶材市場增速達到20%，2017年-2019年仍將保持復合增速13%。

尤其適用于和氧化物靶材。真空蒸發鍍膜系統一般由三個部分組成:真空室、蒸發源或蒸發加熱裝置、放置基板及給基板加熱裝置。在真空中為了蒸發待沉積的材料，需要容器來支撐或盛裝蒸發物，同時需要提供蒸發熱使蒸發物達到足夠高的溫度以產生所需的蒸汽壓。圖：真空蒸發鍍膜工作原理示意圖真空蒸發鍍膜技術具有簡單便利、操作方便、成膜速度快等特點，是應用廣泛的鍍膜技術，主要應用于光學元器件、LED、平板顯示和半導體分立器的鍍膜。光學器件應用范圍非常廣泛，主要包括智能手機、車載鏡頭、安防監控設備、數碼相機、光碟機、投影機等，元器件及光學鏡頭。我國濺射靶材研發生產技術還存在一定差距，市場影響力相對有限，尤其在半導體芯片、平板顯示器、太陽能電池等領域。

 對靶材廠商而言，這是相當重要的新興市場。國內靶材產業發展也是與日俱增，不斷的擴大自己的規模和生產技術，國內一線生產制造靶材的品牌已經達到國外尖的技術水平。2010年，日就在國內寶島地區建立了光碟塒靶材的生產基地，可以滿足寶島50%的靶材需要。C新的統計報告指出，大部分國家靶材市場將以8.8%的年平均增長率（AAGR)在今后的5年內持續增長，估計銷售額將從1999年的7.2億美元增加到2004年的11億美元。靶材是一種具有高附加價值的特種電子材料，主要使用在微電子，顯示器，存儲器以及光學鍍膜等產業上，用以濺射用于端技術的各種薄膜材料。磁控濺射鍍膜用靶材的使用率提高至40%，同時，降低了生產成本，減少了資源浪費。

研制出適用不同應用領域的濺射靶材產品，才能在大部分國家濺射靶材市場中占得一席之地。UVTM自主創新開發的能力，TFT-LCD用高品質ITO靶材，正式投入量產。自此，靶材的國外技術壁壘，在顯示面板產業重要材料國產化的道路上又前進了一步。廣州以打造“世界顯示之都”的目標，重點領域包括顯示器及配套（含濺射靶材），打造千億級平板顯示產業集群。中國已經成為面板、半導體、光伏、觸摸屏等光電行業的制造大國和強國，對新材料有巨大的自身需求。預計2022年大部分國家顯示面板整體規模將超1300億美元，LCD面板占比約70%。中小尺寸OLED滲透率快速提升，大尺寸LCD占據主流。真空鍍膜機的發展相當迅速，隨著生產率的提高，生產費用大大降低。

相關鏈接