1、高純鈦靶
裝飾用純鈦靶是一種用于物理氣相沉積（PVD）工藝的高純度鈦材料，通常以塊狀或板狀形式存在。在真空環(huán)境下通過濺射形成薄膜，賦予基材金屬光澤、耐磨、耐腐蝕等裝飾性功能，廣泛應(yīng)用于高端裝飾領(lǐng)域。其純度通常要求≥99.95%（3N5級(jí)及以上）。
2、性能特點(diǎn)
高純度：雜質(zhì)含量極低（如Fe、O等），確保濺射膜層色澤純凈（如銀白色或氮化后的金色/黑色）。
致密均勻：通過粉末冶金或熔煉工藝實(shí)現(xiàn)高密度（≥4.5 g/cm3），減少濺射時(shí)的顆粒飛濺。
耐腐蝕性：鈦的天然鈍化膜使其在酸堿性環(huán)境中表現(xiàn)優(yōu)異，延長涂層壽命。
環(huán)保性：無毒無害，符合RoHS標(biāo)準(zhǔn)，適用于食品接觸或醫(yī)療配件。
高溫穩(wěn)定性：熔點(diǎn)高達(dá)1668°C，適合高溫濺射工藝。
3、材質(zhì)與制造
材質(zhì)：純鈦（CP-Ti，Grade 1或2），純度≥99.95%，常見形態(tài)為鍛造或軋制靶材。
工藝：真空電弧熔煉（VAR）→ 鍛造/軋制 → 機(jī)械加工（車削、研磨）→ 清洗封裝。
4、執(zhí)行標(biāo)準(zhǔn)
國際標(biāo)準(zhǔn)：ASTM B348（鈦材通用）、ASTM F67（純鈦外科植入級(jí)參考）。
行業(yè)規(guī)范：SEMI F47（半導(dǎo)體靶材參考，部分指標(biāo)適用）。
國內(nèi)標(biāo)準(zhǔn)：GB/T 3620.1（鈦及鈦合金牌號(hào)）、GB/T 5193（雜質(zhì)檢測(cè)方法）。
5、應(yīng)用領(lǐng)域
消費(fèi)電子：手機(jī)邊框、智能手表表殼（如鈦金屬拉絲效果）。
珠寶與鐘表：鈦鍍層首飾、表帶（輕量化+抗過敏）。
汽車裝飾：內(nèi)飾鍍鉻替代（環(huán)保且耐刮）。
建筑與家居：衛(wèi)浴五金、燈具表面（防指紋、抗變色）。
工業(yè)設(shè)計(jì)：眼鏡架、高爾夫球桿裝飾涂層。
6、與其他靶材的異同
| 特性 | 純鈦靶 | 鈦合金靶（如Ti6Al4V） | 鎳靶 | 鋯靶 |
| 成分 | ≥99.95% Ti | Ti+Al/V等合金元素 | ≥99.9% Ni | ≥99.5% Zr |
| 膜層顏色 | 銀白/氮化后多彩 | 偏灰暗，色澤單一 | 銀白，易氧化變黃 | 深灰/黑色（需反應(yīng)濺射） |
| 耐腐蝕性 | 極強(qiáng)（鈍化膜） | 中等（合金元素影響） | 一般（易被酸堿侵蝕） | 優(yōu)異（耐高溫氧化） |
| 應(yīng)用場(chǎng)景 | 高端裝飾、醫(yī)療 | 耐磨工業(yè)部件 | 電子導(dǎo)電層、磁性薄膜 | 深色涂層、核工業(yè) |
| 成本 | 較高 | 中等 | 低 | 高 |
7、選購方法與注意事項(xiàng)
選購方法
純度驗(yàn)證：要求供應(yīng)商提供ICP-MS檢測(cè)報(bào)告，重點(diǎn)查看O、Fe、C含量。
尺寸匹配：確認(rèn)靶材厚度/直徑與設(shè)備腔體兼容（如Φ200mm×6mm）。
供應(yīng)商資質(zhì)：優(yōu)先選擇通過ISO 9001認(rèn)證，且具PVD行業(yè)服務(wù)經(jīng)驗(yàn)的廠商。
性價(jià)比：對(duì)比不同工藝（鍛造vs.燒結(jié)）靶材的壽命（如3000小時(shí)以上為優(yōu)）。
注意事項(xiàng)
儲(chǔ)存：真空包裝存放于干燥箱（濕度<40%），避免表面氧化生成TiO?。
運(yùn)輸：泡沫+木箱防震，避免邊緣崩缺。
使用優(yōu)化：
預(yù)濺射時(shí)間：10-15分鐘去除表面污染物。
濺射功率：控制≤10W/cm2，防止局部過熱導(dǎo)致裂紋。
維護(hù)：定期用無水乙醇清潔靶面，使用后翻轉(zhuǎn)靶材以均勻消耗。
