TiNi合金具有形狀記憶效應及超彈性兩種特性，可制作構造簡單的驅動元件。這種驅動元件的單位體積做功遠比PZT等其它材料的驅動元件大，但是制造這種材料必須經過復雜的塑性加工和熱處理的組合工藝，是該材料的缺點之一。日本富士菲爾特工業公司和全澤工業大學的研究人員采用鍍鎳的純鈦絲，制成三維形狀元件后進行擴散熱處理，得到新開發的元件，并評價了該元件的性能。

這種三維形狀TiNi合金元件的制造方法是：在直徑100μm的純鈦絲表面鍍鎳(鍍層厚度12μm)，然后纏繞在陶瓷卷筒上加工成圓筒形狀，再在真空氣氛下(10^-3Pa)進行擴散熱處理(1173 K溫度下保溫1～8 h，通氬氣快速冷卻)，完成后將試料從卷筒上取下。

用掃描電鏡觀察了絲材的斷面組織，并用能量分散x射線分析其組分。結果表明，絲材最外周為鍍鎳層，心部殘存有未反應的鈦；熱處理使得絲材生成了Ti_xNi_1-x化合物相，呈層狀，該化合物相比例隨熱處理時間的延長而增加。X射線衍射分析表明，試料中除有Ni和Ti以外，還有TiNi—B19 (TiNi合金中的馬氏體相)。用示差掃描量熱計測定了試料的相

變溫度，結果表明：所有擴散熱處理后的試樣，都可以明顯觀察到表示熱彈性型馬氏體相變的放熱峰及吸熱峰，根據放熱峰的位置可以確定馬氏體相變開始溫度約340 K，這支持了x射線衍射分析結果。

以8h熱處理時間所得TiNi合金元件為例，觀察了它的形狀恢復動作。室溫下，變形的TiNi合金元件在453K保持在熱平臺 ，約40s后合金元件恢復到初始形狀，表明其性能良好。

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