鈦靶材作為物理氣相沉積（PVD）技術的核心耗材，是制備高性能薄膜的“源頭材料”。在光伏能源領域，鈦及其合金靶材主要用于制備高效、穩定的功能薄膜，直接關系到光伏電池的光電轉換效率和長期可靠性。
一、 定義與基本概念
光伏用鈦靶材，通常指純度在99.9%至99.999%（3N-5N）之間，用于磁控濺射等PVD工藝的鈦金屬或鈦合金材料。在真空腔體內，高能粒子轟擊靶材表面，使其原子或分子被濺射出來，沉積在光伏基片（如玻璃、硅片、柔性襯底）上，從而形成納米至微米級的功能薄膜。這些薄膜可能扮演著導電電極、背反射層、阻擋層或吸收層等關鍵角色。
二、 主要材質與分類
光伏領域使用的鈦靶材并非單一材質，主要可分為兩大類，其選擇取決于具體的電池技術路線和功能需求。
| 類別 | 典型材質/牌號 | 核心特性與光伏應用目的 |
| 高純鈦靶材 | 純鈦 (如TA1， 對應美標Gr1) | 純度極高（通常>99.99%），雜質含量嚴格控制。主要用于制備導電薄膜和阻擋層。例如，在薄膜電池中作為背電極或透明導電氧化物（TCO）薄膜的底層，以提升附著力和電性能。 |
| 鈦合金/化合物靶材 | 鈦鋁合金 (Ti-Al)、氮化鈦 (TiN)（通過反應濺射獲得） | 通過合金化或反應濺射，賦予薄膜新的性能。Ti-Al合金靶可用于制備耐腐蝕、高導電的復合電極。以鈦靶反應濺射制備氮化鈦（TiN），是一種重要的減反射層和封裝阻隔層材料，能有效提升光吸收和組件耐候性。 |
三、 關鍵性能特點
光伏應用對鈦靶材的性能有特定且嚴苛的要求，主要集中在以下幾個方面：
高純度與低雜質：靶材純度是核心指標。特別是堿金屬（如Na、K）和放射性元素（如U、Th）的含量必須極低，因為這些雜質會在電池長期工作過程中發生遷移，導致性能衰減（PID效應）和可靠性下降。
高密度與低孔隙率：高密度（接近理論密度）的靶材在濺射時具有更高的沉積速率、更穩定的放電過程以及更少的顆粒飛濺。孔隙會吸附水氣和氧氣，在濺射時釋放造成薄膜污染，因此低孔隙率對保證薄膜質量至關重要。
均勻細小的晶粒組織：靶材通常為多晶結構。細小且均勻的晶粒尺寸有助于獲得厚度均勻、性能一致的薄膜。粗大的晶粒或異常的晶粒生長會導致濺射速率不均和薄膜缺陷。
優異的焊接與綁定質量：鈦靶材（背靶）需要與銅背板（冷卻底座）通過焊接（如擴散焊、釬焊）實現冶金結合。焊接界面必須牢固、致密且熱阻低，以確保在長時間高功率濺射過程中有效散熱，防止靶材開裂或脫落。
四、 主要執行標準
光伏用鈦靶材目前尚無專屬的國標，其生產與檢驗主要參考通用鈦材及高純材料的相關標準，并滿足下游客戶的特定技術協議。
基礎材料標準：
《GB/T 16598》：鈦及鈦合金加工產品化學成分。
《GB/T 2965》：鈦及鈦合金棒材。
《ASTM B381》：鈦及鈦合金鍛件標準。
高純及專用標準：
《YS/T 1811-2025 高純鈦鋁合金靶材》：雖然此標準主要針對集成電路，但其對高純鈦鋁合金的分類、技術要求和檢驗方法為光伏用同類靶材提供了重要參考。
客戶定制規格：光伏制造商通常會根據自身工藝和設備（如線式濺射鍍膜機）提出具體的尺寸規格（如長條形）、純度等級（如5N）、雜質控制范圍和性能指標。
五、 核心加工工藝與流程
高品質鈦靶材的制造是集冶金、壓力加工和精密加工于一體的高技術流程。
1. 主體加工流程：
原料準備（高純海綿鈦/合金配料） →真空熔煉（核心）→ 鍛造開坯 → 軋制/擠壓成型 → 熱處理（退火） → 機械加工（切割、車銑） →焊接背板→ 精密加工至最終尺寸 → 清洗、真空包裝。
2. 關鍵技術環節：
超高純熔煉技術：采用電子束冷床爐（EB）或多次真空自耗電弧爐（VAR）熔煉，可有效揮發去除低沸點雜質，獲得成分均勻、純凈的鑄錠。這是保證高純度的基礎。
微觀組織調控技術：通過控制鍛造比、軋制溫度與變形量、以及后續的熱處理工藝，精確調控靶材的晶粒尺寸、取向和均勻性，以滿足不同濺射模式的需求。
精密加工與焊接技術：靶材的尺寸精度和表面光潔度（需車光、倒角）直接影響其在鍍膜設備中的安裝精度與密封性。背板焊接技術是行業核心壁壘，要求焊接層結合強度高、無空洞、熱導性好，能承受巨大的熱應力循環。
六、 在光伏領域的具體應用
鈦靶材的應用貫穿于多種光伏技術路線，以下是其在主要技術領域的應用詳解：
| 應用領域 | 具體功能與作用 | 技術要求與工藝特點 |
| 晶硅光伏電池 | 1. 減反射與鈍化層：通過反應濺射制備氮化鈦（TiN）薄膜，作為電池前表面的減反射層，同時提供良好的表面鈍化效果。2. 背場與導電層：在PERC等高效電池中，鈦或鈦合金薄膜可作為背場的一部分，提升載流子收集效率。 | 要求薄膜厚度均勻、折射率可控、與硅襯底界面態密度低。需精確控制濺射氣體（N?/Ar）比例和功率。 |
| 薄膜光伏電池 | 1. 背電極/反射層：在硅基薄膜、碲化鎘（CdTe）電池中，鈦靶直接用于沉積背電極，其高反射率可將未吸收的光子反射回吸收層。2. 阻擋層：在柔性CIGS電池中，鈦薄膜可作為鈉離子阻擋層，抑制襯底中的鈉離子擴散至吸光層，影響性能。 | 要求靶材純度極高，以避免雜質引入形成復合中心。需要良好的臺階覆蓋性和附著力。 |
| 鈣鈦礦光伏電池 | 1. 電極材料：用于制備鈣鈦礦電池中的金屬電極或電極緩沖層。 2. 封裝阻隔層：鈣鈦礦材料怕水怕氧，采用鈦靶反應濺射沉積致密的TiN或TiO?薄膜，是未來實現超強阻水阻氧封裝的關鍵技術路徑之一。 | 這是前沿應用。要求薄膜極致致密、無針孔，且PVD工藝溫度需與鈣鈦礦材料兼容（低溫或室溫）。靶材的穩定性至關重要。 |
| 光伏組件封裝 | 高阻隔薄膜：在柔性組件或高端玻璃封裝中，采用多層復合膜結構，其中鈦基薄膜（如TiO?， TiN）作為無機阻隔層，可大幅提升組件的水氧阻隔（WVTR）能力，延長壽命。 | 要求薄膜大面積均勻、連續無缺陷。靶材的利用率和高功率長壽命運行穩定性是成本控制關鍵。 |
七、 與其他領域用鈦靶材的對比分析
不同應用領域對鈦靶材的性能要求差異顯著，其對比主要體現在純度、微觀結構、尺寸形態和核心技術側重點上。
| 對比維度 | 光伏能源領域 | 半導體與微電子 | 顯示面板 | 裝飾與工具鍍膜 |
| 核心性能要求 | 高純度、高密度、良好的鍍膜均勻性、優異的耐候性。重點關注對光電轉換效率的貢獻和長期環境穩定性。 | 極致純度（常達6N以上）、納米級晶粒尺寸控制、極低的放射性元素含量。要求薄膜具有完美的電學性能和可靠性。 | 大型化（長條形）、極高的均勻性、低電阻率、高焊接率。追求在大面積基板上鍍膜的顏色、電阻一致性。 | 高硬度、豐富的色彩（通過反應濺射）、良好的附著力、成本控制。對純度要求相對較低（3N-4N即可）。 |
| 典型材質 | 高純鈦、鈦鋁合金、鈦靶反應濺射化合物（TiN， TiO?）。 | 超高純鈦、鈦合金（如Ti-Al用于阻擋層）、鈦硅化物等。 | 高純鈦、摻鈮鈦等用于TFT柵極或電極。 | 純鈦、鈦合金，大量使用反應濺射制備氮化鈦（金色）、碳化鈦等。 |
| 形態與尺寸 | 多樣化，包括矩形板、長條形，尺寸與鍍膜設備腔體匹配。 | 圓形為主，尺寸與硅 wafer 尺寸嚴格對應（如12英寸、18英寸），精度要求極高。 | 非常大尺寸的矩形或長條形靶（長度可達3米以上）。 | 尺寸規格靈活，多為矩形或圓形。 |
| 關鍵技術差異 | 關注大面積鍍膜均勻性、薄膜的光學與電學性能耦合、以及與聚合物等柔性襯底的兼容性。 | 追求原子級缺陷控制、超細晶粒與特定織構、超高純金屬提純技術。 | 攻克超大靶材的鑄造均勻性、背板焊接的平整度與散熱、高利用率濺射技術。 | 側重反應濺射工藝的穩定性（防止靶中毒）、色彩再現性和沉積速率。 |
| 應用目標 | 提升電池效率、降低制造成本、保障組件25年以上壽命。 | 制造晶體管、互聯導線、阻擋層，實現芯片微小化與高性能化。 | 制備TFT陣列、透明電極（如ITO的底層），實現畫面顯示。 | 賦予產品美觀、耐磨、耐腐蝕的表面特性。 |
注：在生物醫學領域，鈦靶材主要用于制備人工關節、骨釘等植入物表面的生物相容性涂層（如羥基磷灰石/鈦復合涂層），核心要求是良好的生物活性和無毒性。在磁記錄與儲能領域，鈦靶可作為制備磁記錄薄膜的底層或介質層，要求薄膜具有特定的晶體取向和超光滑表面。這兩個領域對靶材的特定功能屬性要求高于對極致純度的要求。
八、 未來發展新領域與方向
光伏技術的演進持續驅動著鈦靶材的創新與發展，未來主要方向如下：
服務于下一代高效電池技術：
鈣鈦礦疊層電池：鈣鈦礦-晶硅疊層電池是突破單結效率極限的必然路徑。鈦基靶材（尤其是用于制備高效透明導電層和穩定封裝阻隔層的材料）將在其中扮演關鍵角色。開發低溫、高速率、高損傷閾值的濺射工藝及相應靶材是重點。
無銦化透明電極：目前主流的ITO靶材含稀有金屬銦。開發基于鈦摻雜的氧化鋅（Ti-ZnO）等新型無銦TCO靶材，對于降低光伏成本和保障供應鏈安全具有戰略意義。
面向先進封裝的薄膜技術：
隨著光伏組件向更高功率密度發展，對封裝材料的阻隔性要求呈指數級上升。采用多層納米疊層（如TiN/TiO?）的超級阻隔薄膜是發展方向，這對鈦靶材的成分精確控制、薄膜應力調控和濺射穩定性提出了更高要求。
工藝革新與成本控制：
高利用率靶材設計：開發新型旋轉靶、異形綁定技術，將靶材利用率從傳統的30%-40%提升至80%以上，是降低光伏制造成本的重要途徑。
國產化與產業鏈協同：隨著我國光伏產業的絕對領先，上游關鍵材料的自主可控日益迫切。在高純鈦原料提取、大型高品質靶材鑄造、智能化焊接加工等環節實現全面突破，構建完整的國產化供應鏈，是行業發展的核心趨勢。
總而言之，光伏用鈦靶材正從一種通用鍍膜材料，向功能化、定制化、高性能化的方向快速演進。其發展軌跡深度綁定光伏技術的創新節奏，是光伏產業持續提效降本、邁向下一代技術不可或缺的關鍵材料支撐。
