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寶雞靶材生產(chǎn)廠家深度解析鎳靶材的應(yīng)用領(lǐng)域與工藝流程

發(fā)布時(shí)間:2025-02-11 17:28:54 瀏覽次數(shù) :

鎳靶材是一種用于物理氣相沉積(PVD)或?yàn)R射鍍膜工藝的高純度鎳材料,主要用于在基材表面形成功能性薄膜。關(guān)于鎳靶材的詳細(xì)介紹,凱澤金屬結(jié)合多年生產(chǎn)經(jīng)驗(yàn)及相關(guān)資料,分享如下:

1、主要應(yīng)用領(lǐng)域

電子工業(yè):

半導(dǎo)體器件中的導(dǎo)電層或阻擋層(如芯片互連)。

薄膜電路、顯示面板(OLED、LCD)的電極材料。

防腐與耐磨涂層:

航空航天、汽車零部件表面鍍鎳,提高耐腐蝕性。

工具、模具的耐磨鍍層。

裝飾鍍膜:

珠寶、衛(wèi)浴五金等表面裝飾性鍍層。

新能源領(lǐng)域:

鋰電池集流體、燃料電池催化層等。

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2、關(guān)鍵性能指標(biāo)

純度:半導(dǎo)體級(jí)要求≥99.995%(5N5),工業(yè)級(jí)通常≥99.9%。

密度:高密度(接近理論值8.9g/cm3)以減少濺射孔隙。

晶粒尺寸:細(xì)小均勻的晶粒可提高鍍膜均勻性(通常需控制為微米級(jí))。

雜質(zhì)控制:嚴(yán)格限制氧、硫、碳等雜質(zhì),避免影響薄膜性能。

3、生產(chǎn)工藝流程

熔煉提純:真空感應(yīng)熔煉(VIM)或電子束熔煉(EBM)去除雜質(zhì)。

成型加工:

鑄造或熱等靜壓(HIP)制成坯料。

軋制、鍛造改善結(jié)構(gòu)致密性。

機(jī)械加工:切割、研磨至目標(biāo)尺寸(如Φ200mm×6mm)。

綁定背板:與銅/鋁背板焊接,增強(qiáng)散熱與機(jī)械強(qiáng)度。

表面處理:拋光、清洗,確保無污染。

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4、技術(shù)挑戰(zhàn)

純度控制:需避免熔煉過程中的雜質(zhì)引入。

晶粒細(xì)化:通過熱處理或塑性變形優(yōu)化微觀結(jié)構(gòu)。

殘余應(yīng)力:加工過程中可能產(chǎn)生應(yīng)力,需退火處理。

綁定工藝:靶材與背板的熱膨脹系數(shù)需匹配,防止脫落。

5、常見規(guī)格與標(biāo)準(zhǔn)

形狀:圓形、矩形、管狀等。

尺寸:直徑可達(dá)500mm以上,厚度通常3-10mm。

標(biāo)準(zhǔn):符合ASTM B906、JIS H2118等國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)。

6、市場(chǎng)與供應(yīng)鏈

主要生產(chǎn)商:

海外:JX日礦金屬、霍尼韋爾(美國(guó))、普萊克斯(Praxair)。

國(guó)內(nèi):江豐電子、有研新材、隆華科技、凱澤金屬等。

價(jià)格因素:受鎳金屬行情、純度及加工難度影響,半導(dǎo)體級(jí)價(jià)格顯著高于工業(yè)級(jí)。

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7、環(huán)保與安全

健康風(fēng)險(xiǎn):鎳及其化合物可能致敏,操作需佩戴防護(hù)裝備。

回收利用:廢靶材可通過重熔提純?cè)偕档唾Y源消耗。

若需進(jìn)一步了解鎳靶材的特定應(yīng)用案例或技術(shù)參數(shù),請(qǐng)通過以下方式,與靶材生產(chǎn)廠家-凱澤金屬聯(lián)系。

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